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11选5天津:微電子所正在高精度三軸加快率計產品

文章来源:admin 时间:2019-01-04

  微電子所正在高精度三軸加快率計產品工藝磋商興師問罪研發方面得到進展

  克日,微電子研讨所研讨員陳大鵬團隊聯合江蘇艾特曼電子科技无尽公司,依托研讨所8英寸 CMOS工藝平臺,落成瞭高精度三軸减速率計產品工藝的開發與驗證,經客戶測試,器件功效优秀,相符設計預期 。正在2015年節能與新動力汽車結果展上,湖南中車期間電動汽車股份無限公司(簡稱中車期間電動)展出瞭三款新動力客車車型,11选5天津此中12米雙源雙充純電動客車成為業內專傢存眷的焦點

  針對產業界對MEMS代工的火急需求,微電子所科研人員以高精度三軸减速率計開發為牽引展開攻關,起劲於正在現有8英寸矽工藝線上實現與CMOS他說,本來預備會第一條就說瞭不克抓緊,由於之前不斷正在贏球,能夠思思會懈弛工藝兼容的通用MEMS加工平臺技術,得胜開發出大深寬比MEMS結構刻蝕、MEMSASIC晶圓堆疊、TSV電學連接及晶圓級蓋帽鍵合封裝等關鍵工藝技術的量產,最終實現瞭TSVASIC晶圓、MEMS結構晶圓及蓋帽晶圓的三層鍵合工藝,並順利交付首款三軸减速率計產品。

  眼前,微電子场所現有8英寸矽工藝線基礎上,组成瞭適用於众種MEMS傳感器件(高精度兩軸、三軸减速率計、高度計、壓力、紅外熱敏等)加工的Post CMOS-MEMS標準工藝,並實現瞭該工藝技術平臺化的開發,可為MEMS設計單位供应產品工藝研發與批量加工服務。

  

  

1. 8英寸三軸减速率計產品晶圓

  

  

2. 三軸减速率計產品Die&nbs西北汽車無疑是這一輪SUV增長的受害者,此前 ,西北汽車不斷沒有熱銷的車型,最滯銷的車型西北V3菱悅,昨年總計銷售3.34萬輛,月均銷量不到3000輛,占西北汽車總銷量的60.07%p;

  

  

3. 三軸减速率計產品剖面SEM

  

 

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